感應熔煉的步驟有用前檢查單晶爐、試用單晶爐、單晶爐正式工作、熔煉產品抽檢、調整測試、使用單晶爐完成后安全斷電，這些步驟都不可以省略。
    在感應熔煉之前應當檢查好設備，看看有沒有明顯損壞的零部件，然后根據(jù)說明書的要求來操作試用，如果經(jīng)過試用工作正常，就可以開始正式生產了，但是生產的過程中也要不斷地檢查下產品，看產品的某些指標是否達標，產品質量是否合格，如果指標不達標、質量不合格就要調整下機器，直到熔煉的產品的品質達到要求為止。

    常見的單晶爐故障有晶棒晃動，單晶爐晶棒晃動機器仍然可以正常運轉，但是生產效率低，感應熔煉的產品質量差所以為了提高感應熔煉的效率和質量，不能盲目的熔煉，一定要對單晶爐進行檢查。晶棒晃動要檢查一下提拉頭、冷卻系統(tǒng)和真空系統(tǒng)。如果是提拉頭出現(xiàn)問題，就要維修調整下減速機構或旋轉機構。如果是冷卻系統(tǒng)和真空系統(tǒng)出現(xiàn)問題，需要調整一下硅料和重錘結構。如果檢查這些地方?jīng)]有問題，看一下氬氣等惰性氣體是否在爐內流動，氬氣在爐內流動的話，就需要改裝一下單晶爐了，保證單晶爐熱場分布均勻。
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